Tokyo Electron 002390-11

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) Photoresist Coater/Developer Model 002390-11.

Важное примечание: Модель "002390-11" — это, скорее всего, внутренний номер детали (парт-номер) или номер спецификации для определенного узла, компонента или модификации, а не коммерческое название целой системы. TEL называет свои основные системы как CLEAN TRACK™ (например, LITHIUS, ACT™ серии). Поэтому информация представлена в контексте наиболее вероятной системы, частью которой является этот компонент.

Наиболее вероятная система: TEL CLEAN TRACK™ LITHIUS Series Coater/Developer

Компонент с номером 002390-11, вероятно, относится к одной из платформ LITHIUS (например, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro Z). Это высокопроизводительные системы для нанесения фоторезиста (Coater) и его проявления (Developer), используемые в производстве полупроводниковых пластин (wafer) диаметром 200мм и 300мм.

Общее описание системы (CLEAN TRACK™ LITHIUS)

Назначение: Автоматизированная система, которая выполняет ключевые этапы фотолитографии:

1. Нанесение покрытий: Равномерное нанесение фоторезиста, адгезивных слоев (адгезивов) и антиотражающих покрытий (BARC) на кремниевые пластины.
2. Термическая обработка (Bake/Chill): Точный подогрев (Pre-bake, Post-bake) и охлаждение пластин для стабилизации покрытий.
3. Проявление (Developing): Химическое проявление пластин после экспонирования в сканере (Stepper/Scanner) для формирования скрытого изображения.

Роль в производстве: Установка напрямую интегрирована со сканером (например, ASML) в единую кластерную линию (cluster tool), обеспечивая высокую автоматизацию и чистоту процесса.

Ключевые преимущества:

• Высокая производительность (Throughput): Максимальное количество пластин в час (WPH).
• Превосходная однородность (Uniformity): Нанесение слоев с нанометровой точностью по толщине и однородности.
• Высокая надежность и время наработки на отказ (MTBF): Рассчитаны на работу 24/7 в производственных условиях.
• Передовые технологии: Поддержка современных процессов (иммерсионная литография, многократное нанесение, обработка кромки пластины (Edge Bead Removal) и др.).

Технические характеристики (для типичной системы LITHIUS)

Характеристики зависят от конкретной модели (LITHIUS Pro, Pro Z, V, i+ и т.д.) и конфигурации заказчика.

| Параметр | Характеристика / Описание | | :--- | :--- | | Обрабатываемые пластины | 200 мм (8"), 300 мм (12") | | Модули обработки | Модули нанесения (Spin Coat), модули проявления (Spin Develop), модули термической обработки (Hot Plate, Chill Plate), модули мойки (Wet Station). | | Производительность (Throughput) | До 300+ пластин в час (зависит от рецепта и конфигурации). | | Однородность нанесения (Uniformity) | < 1 нм (1σ) для толщины фоторезиста. | | Контроль толщины | Встроенные измерительные сенсоры (в некоторых моделях). | | Интерфейс | Полная интеграция со сканером (интерфейс SECS/GEM). | | Подача химикатов | Замкнутые системы (CDS) для каждого химического продукта с точным дозированием. | | Среда | Класс чистоты ISO 4 (класс 10) или лучше в зоне обработки пластин. | | Программное обеспечение | Проприетарное ПО TEL для управления процессом, рецептами и диагностики. |

Парт-номера и совместимые модели (контекст для 002390-11)

Номер 002390-11 — это компонентный номер TEL. Чтобы найти точные замены или совместимые детали, необходимо знать, что это за компонент (например, печатная плата, датчик, насос, механическая часть).

1. Совместимые основные модели систем (Platforms): Компонент, скорее всего, совместим с несколькими системами серии CLEAN TRACK на одной технологической платформе:

• LITHIUS Pro / Pro Z
• LITHIUS V
• LITHIUS i+
• ACT™ series (более ранние или специализированные модели)

2. Как найти информацию по парт-номерам:

• Официальные каналы: Прямой запрос у Tokyo Electron (TEL) или у их официальных дистрибьюторов/сервисных инженеров. Это самый надежный способ.
• Сервисная документация: В руководствах по обслуживанию (Service Manual), частях списков (Parts List) или схемах (Schematics) для конкретной модели установки (например, LITHIUS Pro Z T3).
• Базы данных поставщиков: Специализированные поставщики запчастей для полупроводогового оборудования (например, CEI, Axiom, KST и др.) часто имеют кросс-референс базы по номерам TEL.

3. Примеры парт-номеров для схожих компонентов (для иллюстрации):

• 002390-00100 — Может обозначать основной блок управления.
• 002390-20200 — Может обозначать драйвер двигателя.
• 4551236-001 — Альтернативный номер для насоса.
• C-0001-001-11 — Номер для камерты или химстойкой детали.

Ваш номер 002390-11, вероятно, является модификацией (-11) базовой детали 002390.

Рекомендации

1. Определите точную модель установки: Найдите шильдик (nameplate) на самой системе. Нужно полное название, например: "CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z T3".
2. Используйте полный номер: При поиске всегда указывайте полный номер 002390-11.
3. Обратитесь к специалистам: Для заказа, проверки совместимости и технической поддержки обращайтесь к:
   • Официальному сервису Tokyo Electron.
   • Проверенным независимым поставщикам запчастей для полупроводникового оборудования.
   • Инженерам-технологам на производстве, где используется эта установка.

Эта информация позволит точно идентифицировать компонент и найти ему замену.