Tokyo Electron 017-003878-1

К сожалению, по запросу Tokyo Electron 017-003878-1 не удалось найти конкретной информации о готовом продукте или детали с такими референсными данными в открытых источниках.

Скорее всего, это внутренний заводской номер (manufacturing part number) или серийный номер конкретного компонента, узла или даже целого модуля, используемого в оборудовании Tokyo Electron (TEL).

Контекст и предположения:

1. Tokyo Electron (TEL) — это один из крупнейших в мире производителей полупроводникового оборудования (следы, травление, очистка, нанесение покрытий, инспекция).
2. Номер 017-003878-1 соответствует формату внутренних нумераций TEL. Первые цифры (017) могут указывать на тип оборудования, семейство или завод-изготовитель.
3. Такие номера обычно не являются коммерческими каталожными номерами, по которым можно найти публичное описание. Они используются для заказа запасных частей, отслеживания в сервисных руководствах и внутренней логистики.

Что это может быть (наиболее вероятные варианты):

• Запасная часть/компонент: Электромеханическая деталь (клапан, датчик, привод, фильтр, плата управления), используемая в одном из процессов.
• Сервисный узел/кит: Комплект для технического обслуживания или ремонта (например, набор уплотнений, прокладок, сменных элементов для камеры).
• Модуль суб-блока: Сменный модуль внутри более крупной системы (например, модуль подачи газа, RF-генератора, системы охлаждения).

Как получить точную информацию:

Чтобы получить описание, тех. характеристики и совместимость, необходимо обратиться к официальным каналам Tokyo Electron или к владельцу оборудования, в котором используется эта деталь.

1. Обратиться напрямую к TEL или официальному дистрибьютору:

• Сервисная служба TEL: Предоставив этот номер, вы сможете получить полное описание детали, её спецификации и список совместимого оборудования (модели установок).
• Портал для клиентов: У TEL есть защищённые порталы для клиентов, где по таким номерам можно найти всю техническую документацию.

2. Использовать сервисную документацию:

• Номер нужно искать в Parts List (перечень запчастей) или Service Manual (сервисное руководство) для конкретной модели оборудования TEL (например, для травления — серия Tactras, для очистки — серия Cellesta, для нанесения покрытий — серия Ultras).
• В этом списке будет указано:
  • Описание на английском/японском (Description).
  • Кол-во в установке (Quantity).
  • Совместимые модели установок (Applicable Models).

3. Запросить информацию у владельца оборудования:

• Если вы знаете, в какой именно установке (модель и серийный номер) используется эта деталь, её оператор или инженер по обслуживанию сможет найти все данные во внутренней документации.

Условный пример того, как информация могла бы выглядеть (на основе аналогичных случаев):

• Парт-номер (Part Number): 017-003878-1
• Описание (Description): DIAPHRAGM VALVE ASSEMBLY, GAS LINE, C-FACE, 316L SS, VITON SEAL. [Сборка мембранного клапана, газовая линия, фланец "C", нерж. сталь 316L, уплотнение Viton].
• Технические характеристики (Technical Specifications):
  • Тип: Мембранный клапан, нормально закрытый.
  • Размер соединения: NW25 (или 1/2" VCR).
  • Материал корпуса: Нержавеющая сталь 316L.
  • Материал мембраны/уплотнения: Viton (FKM).
  • Рабочее давление: до 0.3 МПа.
  • Привод: Пневматический, двойного действия.
  • Рабочая среда: Высокочистые технологические газы (N2, Ar, O2 и др.).
• Совместимые модели (Applicable Models / Compatible Tools):
  • TEL Trias™ SPA: Тип SPA (Single Plate Assembly).
  • TEL Tactras™ (серии для сухого травления): Модели, использующие газовую панель типа "G".
  • (Конкретный список моделей определяется инженерными ревизиями).
• Альтернативные/сопутствующие парт-номера (Related Part Numbers):
  • Комплект ремонта (Repair Kit): 017-003879-0
  • Мембрана (Diaphragm): 017-123456-1
  • Уплотнение (Seal Set): 017-654321-2

Вывод: Для получения точных данных по номеру 017-003878-1 необходим доступ к внутренней системе запчастей Tokyo Electron. Рекомендуется использовать официальные каналы связи с компанией TEL.