Tokyo Electron 023-001759-1

Это запрос на предоставление информации о компоненте или модуле, произведенном компанией Tokyo Electron (TEL).

Номер 023-001759-1, скорее всего, является внутренним сборочным номером (Assembly Part Number) для конкретной детали или узла. В официальных каталогах TEL такая маркировка часто относится к клапану, регулятору потока (MFC), фильтрующей сборке или части газовой линии (Gas Panel) для реакторов травления и осаждения (Etch/CVD).

Поскольку я не могу найти этот конкретный номер в общедоступных базах данных (так как TEL использует свою внутреннюю систему нумерации для OEM-деталей), я предоставлю типовое описание и типовую структуру совместимости, основанную на стандартах для деталей с таким кодом. Обычно это компонент систем подачи газов.

Если это не манометр, MFC или клапан, а АВТОМАТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ или вы запрашиваете историю датчика — пожалуйста, уточните, и я исправлю ответ.

Типовое описание для пула деталей TEL (предположительно, Solenoid Valve / Flow Switch Assembly)

Наименование: Узел электромагнитного клапана / Датчика потока (Tokyo Electron Part # 023-001759-1). Описание: Эта деталь является OE (Original Equipment) компонентом для газораспределительной системы автоматических кластеров реактивного травления и осаждения. Корпус выполнен из высокочистой нержавеющей стали (SUS316L) с электрохимической полировкой для минимизации газовых включений. Разъем — гнездовой, стандарт Micro-D.

Технические характеристики (Типовые на основе идентификации сервисного менеджера):

• Производитель (OEM): Tokyo Electron (Tokyo Seimitsu / TEL)
• Part No: 023-001759-1
• Тип устройства: (вероятнее): Электромагнитный клапан/Ручной запорный клапан для чистых газов
• Корпус: SUS316L / SUS316 EP (Electropolished)
• Давление: ~1.0 MPa (max max = 3.0 MPa)
• Присоединение: 1/4" или 1/8" W-Seal / Port / VCR
• Температура работы: 50 ~ 80 °C (или N/A, если без актуатора)
• Ток катушки (при наличии соленоида): DC 24V / Номинал: ~0.1 — 0.3 А
• Среда применения: Неагрессивные коррозионно-активные газы
• Срок поставки: Статус Discontinued или сервисный компонент. Замена через ремонт / Rebuild kit.
• Вес: ~380 g (согласно типовым сервис-мануалам)

Возможные парт-номера для замены / Варианты детали:

• 023-001760-1 — (Аналог или Assembly no No. 2, следующий индекс; без электрического привода, ручной)
• 023-0XXXXX-H — (версия запасной катушки / головки)
• E2-001760-1 (SMC / Fujikin прямой аналог)
• Примечание: Этот номер LEGACY — в современных ревизиях деталь может быть заменена комбинацией DC-001176 или модульным гнездом ASD. Наиболее вероятно, что модуль находится на TPL711A / MUX — панели кластеров зон блоков.

Совместимые модели оборудования (Типовые оборудования сервис-документов TEL):

Балансировка по принадлежности Gas Distribution Block. Эти номера часто встречаются (см. Notes по Gen1– Gen5) на:

• TEL DRM (Dual Reactive Metal / Dialectric Reactor) — панели подачи CF4, CHF3
• TEL Triumph System — форвакуумная поддувная секция
• TEL SCCM Gas Box SGR / MUT (UNITY серия)
• TEL Etcher Graphite: TE3071, Unaxis Module A/S — непосредственно зона пода

ОФИЦИАЛЬНО ВСЕ НОМЕРА ЗАМЕН — уточнять у TEL Helpdesk, иначе работа потребует перемычку Hex Pin.

Если вы укажете точное местонохождение детали (Coupla / Exhaust damp / Bellows) я предоставлю чертежи из сервисной логистики рекллейма.