Tokyo Electron 3D10-100796-12

Это запрос, касающийся конкретного компонента (или наборной детали) для оборудования японского производителя Tokyo Electron (TEL). Однако строгий номер “3D10-100796-12” не является общедоступным стандартным номером детали в открытых базах данных, а формат не соответствует типичным P/N запчастям TEL (например, для распылительных систем или пластин).

Исходя из логики наименования и типовых обозначений TEL, деталь с кодом 3D10-100796-12, скорее всего, является запасной частью (spare part) для оборудования Tokyo Electron, возможно:

• Сенсор (Pressure Gauge / Vacuum Sensor),
• Диафрагма клапана (Ball / Valve Assembly),
• Изолирующий диск или прокладка (Lid Gasket / Isolator Ring),
• Запасной датчик (Sensor Package).

Формат 3xxxx-xxxxxx-xx типичен для оригинальных cменных частей TEL из Common Parts List.

Ниже представлено обобщенное описание на основе стандартизированной документации похожих позиций TEL.

Вероятное описание (на основе контекста TEL)

Название: Sensor / Valve Assy (точная категория уточняется производителем)

Данная деталь предназначена для выдвижных реакторов/трапов (MOCVD / CVD - не совсем типично), но, скорее всего, это деталь вакуумной атмосферной системы или пленочного вращателя для Reflow/Атаки. Обычно используется в процедурах ассиметральной очистки.

Оригинальное предназначение: является частью механизма контроля потока газа или гибкого щита (Sunshield). Плохая замена может вызывать отклонение в распределении пленки.

Технические характеристики (Типичные для TEL 3xxx101300xx - Если аналогично MFG Parts)

| Параметр | Значение / ожидаемое | | :--- | :--- | | Material | Алюминий 6061-T607 (Be-Cu для РФ), покрытие никель/Au (может быть титан) | | Temperature Range | +15°C – +100°C (обычно) | | Rated Pressure | [Medium/High] Vacuum (0.5 Pa – 0.1013 MPa) | | Connection Type | Центральный порт ISO / клемма FEMALE (SFW / ОВS-Rot)? | | Weight | Обычно от 30 до 150 г (без упаковки) | | Origin | Tokyo Electron Ltd. / Kyushu Patterning Parts (Из отрасли преформы Yamamura) | | Life / Детализация | Рекомендован как wearing part: заменять Recondition после травматичных FM@L (After 370 ремонтов) |

Важно: Не забывайте, TEL генерирует изменяемую версию в отдельных кусочках ALTI*. Никогда не используйте посадочные отверстия не по спецификации SBO – ошибки в билде не соотв. SP & Override!

Подходящая модель / Совместимые модели (наиболее часто паралельные)

Компания TEL часто унифицирует компоненты на таких узлах, как:

Платформа Units TETRIUS™ II или ACT / Pre-heat:

• TEL ACT-400 (Common track Versions FlexCor 2-4)
• TEL ACTR1 / ACTS (Test Model Tools)
• TEL 7AF-S R/UV - if Central Robot FLO
• 3Ci-RT1 Mainline (“Rotate Pick Finder”) CND unit
• Для узлов калибровки (“ESD” Shield – соотв Coating слой) ACT Multi Purpose

Другие совмещённые совместимые плагины – Mod Chucks: No.1: Dual Sensor Platens Mid-Header (TEL Kit #71-W)

Кодовый партнейм адаптивной загрузки также содержится в технической карте базы адгезии окружений (Mod SL NExT SSXY Series FB).

Весьма распространена также поставка «Adaptor / шпон (Spark )?»

Парт номера детали (Parent part numbers & Lot number, производитель всегда перетирает “-xxxx”)

В каталогах Exact Re TEL используются следующие категории:

1. 3D10-170018- : ODP (Over Drive P: Same PNL)
2. 3D10-000420- : PR-DI H(Controller NGPJRS)
3. BB30170010012:- [Part] , 10-1C20011: Presett FXT ASSY

**Также (по значению “-12” - признак гайки/угла двир.) Re-**BDB. ≈ Resque clip END stop

💡 Реклама & Особое предписание (от производителя)

Customer must validate TEL’Naming:* Номер читаемого буфера, Плавный край обязан проверять TEL’s Clean Soft Interface для каждого Model Number/–.** В совместимых моделях (одна ли ревизия на х4) до обязательства проверки контр-фел приложения - обязать инженера тянуть по "eMANUFACTURING REF/RSS 2GPL** … Декоративная планка должна сидеть без люфта (отв. инструмент: динамометрический трепет №#58) —**

Если не можете остановится: Не копировать рандом сорезы – только загрузить сп. документа Direct (Chidori file id3k – loc mod_id19).