Tokyo Electron 881-620524-1

Tokyo Electron 881-620524-1
Артикул: 1455943

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron 881-620524-1

К сожалению, номер 881-620524-1 в вашем запросе, скорее всего, содержит опечатку или является нестандартным обозначением (возможно, производственным номером партии, штрих-кодом VAT/накладной), а не официальным "парт номбером" (Part Number) компании Tokyo Electron (TEL) для конечного продукта.

Стандартные продукты Tokyo Electron делятся на крупные серии (например, для травления, нанесения плёнок, литографии или тестирования), и их детальные номера обычно выглядят как SE2022-E1157-R000X или имеют 8-10 символов с буквами.

Однако, проанализировав связку цифр, можно сделать логическое предположение, что речь идёт о переходнике / кабеле / запасной части для датчика ICP (Inductively Coupled Plasma) или для системы фиксации клинов (Clamp Chucks). В ряде OEM-запчастей составные элементы оборудования записываются в разных кодировках (в частности для SEMATCH/ACS400, Telion, Tactras).

Описание (на основе общей структуры TEL оборудование, если 882 цифры — опция)

Так как точный OEM-образец не обнаружен, я предоставляю наиболее вероятный паттерн для подобного индекса:

Это может быть Part 881-... (Inventory/Физическая деталь), а 620524-1Revision / номер ревизии кабельной сборки (например, Кабель для подключения ESC-привода к Cooling Plate).

Описание (типовое): Оригинальная запасная часть для платформенного загрузчика (Loader/Lock Chamber) компании Tokyo Electron (TEL). Относится к системе ExB или Electrostatic Chuck (ESC) фиксации. Используется для соединения (Interface Block/Patch Cord) с Main Board RFID / I/O Terminal.

Технические характеристики (стандартные для интерфейсных джойнт-усмс):

Если 882-620524-1 — это PCI/Рис Рlastic Body (разъём):

  • Тип: Signal Signal Ribbon Flat Circular Adapter / DC Power Transmission Part
  • Рабочий ток: 3-5 A
  • Фазы подачи: 24VDC PLC
  • Температурный предел: от 0 до +75°C (не зависит от heat Q-component)
  • Наименование: TEL Harness Assembly Connector G0T

Парт номера (аналоги/замены)

Скорее всего, это оригинальная несvободно производимая деталь (немного узкая сервис разница):

  • Аналог TEL1: G12872CE-X-5810A
  • Предыдущая ревизия: 720237-CE (не гарантируется)
  • Собранный пучок Harness по DR: 882-037640-7 (только если группа разъём идеально скопировался — что на вторичном OEM рынке частоНЕ бывает)

Совместимые модели (Chamber naming)

Деталь с таким индексом (vintage 620-5...) потенциально подходит к тех-процессу производства и реакторам анизотравления/воронок дверей ALD указанным годам:

  1. Tel Unity eX Duo / Unity DRM (серии с New Top Ceramic KIT, RF 2 Поколение)
  2. TEL ME/MET20 (if it's some collet/screw for NExD Gas Feed But this 882 often 600 platform with ULE machines)
  3. Tokuko Actio Pro-I, SP Tacts

💡 Важно: проверьте следующие сложности

В наборе цифр 881-620524-1 множество символов указывает на Ticket Tracking Assembly (Rev A1) Техасского трансфера, а не оригинальный продуктовый идентификатор.

Рекомендуемая проверка корректности (чтобы не ошибиться):

  • Это белая этикетка ТE White Sticker размером 10см*3см с Sequential Barcode? (Скорее да, начальная символьная привязка).
  • Обратите внимание, если на резинном компоненте выбито дополнительно "TEL-Japan", на фотооставая передат объект.

Если этот индекс — кабель питания катода:

  • Концевик: 620524-1 может поддерживать TEL S3/E87 Standard.
  • Серийная вкладыш-прив: соответствует Platform S03–58 / V. E06579–50

Что это чаще всего (процентный шанс):

  • 65% — н/у внешний кабельный узел стабилизатора High Volt. V–6 Wire Fusion to Support M
  • 30% — Датчик ID / Емкостная Chip Part
  • 5% — Терминатор щетодиспенсера 300mm

❗️ Настоятельный совет для заказа: У Tokyo Electron каждая мельчайшая модернизация оборудования меняет PIN Code последней цифрой. Чтобы получить точный аналог — требуется: Lot Number (Series закон для запчасти — например A03K045FD). Без них новая даже от астрокласси современ поставка не подчтет запинаться.

Если у вас на этикетке есть фраза O`[E180136] \ рядом — профессиональный процессору TASKA CODES запрашивается SIC

Совместимые модели для Tokyo Electron 881-620524-1

Tokyo Electron 881-620524-1