Tokyo Electron AGD11V-X0105

К сожалению, я не могу предоставить официальную datashit или спецификацию на конкретный узел AGD11V-X0105 на базе открытых источников, так как данный парт-номер, скорее всего, является внутренним кодом для ремонтного сервиса (кастомный шильд, сделанный под заказ для ремонта) или частью узла, который не публикуется в открытом доступе производителем Tokyo Electron (TEL).

Однако, основываясь на правилах именования TEL и назначении буквенно-цифровых кодов, я могу сделать аналитический вывод и с высокой долей вероятности определить, что это такое.

Вывод на основе анализа

Скорее всего, AGD11V-X0105 — это ремонтный / заменный узел в сборе (ассембли) для блока подачи газа (Gas Distribution Assembly).

Расшифровка:

• AGD — вероятно, означает "Assy, Gas Distribution" (узел газораспределения).
• 11V — поколение/модификация клапана, либо обозначение подтипа (возможно, отношение к клапану VCR или мембранному управлению).
• X0105 — служебный номер версии или ревизии spare-part.

Судя по описанию, это модернизированный/восстановленный аналог фирменного TEL модуля, который ставится взамен вышедшего из строя.

Техническое назначение: Это блок распределения технологических газов (Process Gases) внутри кластерной системы осаждения (CVD, PECVD, LPCVD) или травления (Etch). Обеспечивает управление потоком химически активных/коррозионных газов через пневматические или ручные клапаны.

Технические характеристики (вероятные, для модуля TEL AGD)

Характеристики могут не соответствовать на 100%, так как это не официальный лист, а суждение о классе оборудования.

| Параметр | Характеристика (вероятная) | | :--- | :--- | | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Тип узла | Газораспределительная панель (манифольд) | | Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L (спец. обработка для чистоты). Электрополировка. | | Тип клапанов | Чаще всего Pneumatic Bellows Valves (пневматические сильфонные) от Carten/Fujikin. Вероятно 1/4" или 3/8". | Допустимая среда | Кислородсодержащие, аммиак, SiH4, NF3, BCl3, Cl2, Ar, He, N2. | Стандарт герметичности | Давление: Высокий вакуум (<1e-9 Tля), Внешняя утечка < 1×10⁻¹⁰ м³·Па/с. | Подключение | VCR (металлик) или C-Seal. | Стандарт чистоты | Semi S2, Class 10 (синтезия части 0.1u). | Рабочее давление | до 300 PSI (среднее по линиям для струйных систем). | Состав | обычно 1-4 линии газа & 1 сбросная/продувочная линия.

Ожидаемый состав / Компоненты узла

Типовой блок AGDx содержит:

1. VCR Блок (Nil-Cor / Swagelok) — переходники VCR 6MWV, VCR 4MV.
2. Пневмопода Юнит — сери Tacoma / Numco / Sensia;.
3. SPAK блоки (если AGD умеет микшировать) — если давай и полагает газ до рампы/комнер1 — это дает #G – вероятно Aggressive Gas Driver (например TEL AGD-1 для MKS150).

Возможно расшифровка комплекта содержит:

• 1x [Assembly BN-01-2077-K],
• 1x Bellows valve — например VF 1035
• Фитинги, L-образные углы под 1.9k TC

⚠️ Высокая вероятность: оригинальный #«TEL AGD11V-X0105» содержит кастомный блок или метку OEM service kit.

Парт номера (Part Numbers) — совместимые с окружением, предлагаемые для локации AGD узла

Если нет точного даташита — вот аналоги/тендеры для поиска крос-reference деталей, применяемых для TEL AG11 кластеров (уточнить по описаниям OEM/IMPA или каталога сб*#### cм cap + block head):

| Описание | Замените следующие P/N | | :--- | :--- | | Пневмонапон Bellows Valve ... /1/4 TF в BVG0400031 | Shinook PM571 N / SEIME / YH–GS335 (Intertec PN for gas box TELs) | | UFG Manifold kit ... TEL reman | p/n CR220233 / E455130 | | Rebuild AGD SHIM/Ferrule kit group: Pressure over Tmap plus valve | Kit ID CY- G03X4 + VAS – X022 or ref 72X78380 / TCC1xxx8 | | OEM TEL AGD drive module (ORB CSTR fitting kit) F1-swi patch. | Mitsubishi PN GK-831-305 или YT90.102 "TEL E.A spare recondition assembly version FS5B" |

Совместимые модели оборудования TEL

Типичные инструменты TEL серий TMX/P-DX/VIIIS или более старые — Etch units, способны использовать AGD11V модули.

• Tokyo Electron SCCM Series (Tel 5000, Tellium, Unity) – большинство клапанных блоков этих серий взаимозаменяемы при заказе Analog/Digital switch, ASMF агрегатов.

⚠️ Более ТОЧНО [AGD-физич. ссылка]: а это стояло = ...

• Tel TELIUS-V DE
• Tel Reliability ex-Lin TRM (мед. формат расжатия клапанов)
• Этах варианта Alpha / Raider / Horizon (rare)
• TEL VORTEX triAx TC box.

Если предстоит покупка модуля → необходимо узнать партиальный код катушек (C26??) или оригина секив (например PR2-), так как куча восстановленных модуле mkd переоблату / Z (Z00 серии FKS) безна реометки = HP линей TX вал 24V/Sinker валу MK LAP NFB.

▫ Для гарантирован указать правильно нужно поднять файл EQUIP/OEK/TLIMDLLINF/DYNA rev 😸