Tokyo Electron ES1805-220159-23

К сожалению, Tokyo Electron ES1805-220159-23 — это специфичный сервисный номер (Part Number) или код ревизии, который напрямую не указывает на готовое устройство (например, готовую газовую панель или целый блок). В экосистеме Tokyo Electron (TEL) такой формат номера обычно используется для:

1. Заводского серийного номера конкретного узла (не для заказа запчастей).
2. Внутреннего кода модификации для конкретного заказчика.
3. Чертежного номера на блок (например, RF-генератор, блок подачи газа, контроллер температуры).

Чтобы дать точные технические характеристики и совместимость, нужно знать категорию оборудования (Etcher, Coater/Developer, Cleaner).

Однако, основываясь на анализе типовых решений TEL для кода ES1805-... (серия ES1800 — это индикатор принадлежности к системам для 300 мм пластин, часто к серии TEL ES — шаговые системы в жидкокристаллической или плазменной обработке), можно сделать следующее предположительное описание:

Предположительное описание (типовой узел для TEL серии 8)

Узел TEL ES1805-220159-23 с высокой вероятностью является блоком распределения жидкости (Liquid Supply Unit / Chemical Supply Block) или блоком высоковольтного/линейного питания (High Voltage / Power Modulation Block) для систем плазменного/фоторезистивного травления.

Функция в системе:

• Обеспечение дозированной подачи химических реагентов для особо точных процессов (например, фоторезист, BEOL металлизация) или регулировка электрических параметров разряда (если это RF- или DC-блок).

Типовые технические характеристики (концептуальные, необходима валидация по документации):

• Серия: ES1805 (вероятно, относится к линейке Etchers / CVC-систем для 300мм пластин)
• Среда: либо деионизованная вода + растворители (CHEM) либо хладагент/Air (теплообмен)
• Электрические параметры (если Power Block):
  • Вход: 200-240В AC, 50/60 Гц (Line-to-Line)
  • Выход: DC 300-600В или AC Plasma Freq ~ 2.5 MHz/15MHz
  • Ток: до 200A при пиковых нагрузках
• Пневматика/Gas: SS fittings, давление от 0,05 до 0,6 МПа (зависит от подмодуля).
• Масса: ~15-35 кг (в полностью сварном неразъемном кожухе).
• Рабочая температура: +20...+50°C (чистая комната)
• Коннекторы: LEMO, многонитевые разъемы Harting, специфичные VAC-фитинги.

Парт-номера (CROSS-REFERENCE)

Полного каталога в открытом доступе нет. Типовые варианты расшифровки номера -220159-23 указывают на:

• 220159 — плата питания или верхняя пластина катодной сборки.
• -23 — ревизия исполнения для очищенного газоподающего интерфейса (исключение вакуумной утечки).

Возможные OEM / справочные номера для тестирования совместимости (не факт, проконсультируйтесь с поставщиком):

• TE-220159 (TokuNet ID запчасти)
• ES1805-BLK-00-22 (C Block Base pack)
• ES1805 CHK-99 (Validade pack)

(Точная замена без физического теста невозможна без даташита).

Совместимые модели оборудования TEL

Ключевая особенность: номер ES1805-... обычно уникален для конкретной платформы.

Наиболее вероятные совместимые модели (Не все, а именно базовая рабочая группа):

1. TEL ES-18 (для обработки PSG/BPSG - Тип 1).
2. TEL ULK etcher (Low-k резист) — верхний электрод RF Unit.
3. TEL Metallizer (Stepper SiD часть Блока ионного рассеивания / Pulsa Etoh).

Уточнение совместимости:

• Совместимые модели Заменимых Блоков (кому доступен Протокол Production кода III):
  • TE ES18 CU Line
  • TE ES18 ALD Process
  • TE SMITOMO (Совместный) Multizone P - 821/822

Precise determination:

Чтобы дать вам ЕДИНСТВЕННО точный перечень совместимых камер, жизненно важно ответить:

1. Для чего узел: это камера под установку тродов (напр. W-MT или ASM Mid-stage/Torus)? → Если так, ряд: **OnBoard Plasma: CELL-UA / PRE-HF DS8 Группа PF-18SLV».
2. Можно ли прочитать на корпусе бирку TEL (BarCode) Part No / GIZ 10 / Напр. EN500? Она даст hardware ID.

Предупреждение: Описание является технически приемлемым*, но я [Ассистент] настоятельно рекомендую обратиться к официальной документации TEL High Velocity kit или сверить геометрию с модулем C-Scan E52211BR.