Tokyo Electron F-AV250-14W

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron F-AV250-14W.

Общее описание

Tokyo Electron F-AV250-14W — это высокоточный манипулятор для переноса пластин (Wafer Transfer Robot), предназначенный для использования в вакуумных кластерах и модулях для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм (12 дюймов). Это ключевой компонент, обеспечивающий автоматизированную, чистую и надежную транспортировку пластин между различными технологическими камерами (CVD, PVD, Etch и т.д.) внутри производственного оборудования.

Основное назначение: Аккуратный захват, извлечение и установка кремниевых пластин в слоты кассет (FOUP) или непосредственно в технологические камеры в условиях высокого и сверхвысокого вакуума (UHV).

Ключевые особенности:

• Вакуумное исполнение: Предназначен для работы в условиях высокого вакуума.
• Компактный дизайн: Минимальное занимаемое пространство, что критично для кластерных систем.
• Высокая точность позиционирования (Repeatability): Обеспечивает точную установку пластины в заданную позицию, что исключает повреждения и брак.
• Высокая скорость и плавность движений: Позволяет минимизировать время цикла передачи пластины (throughput).
• Надежность и долгий срок службы: Спроектирован для непрерывной работы в жестких производственных условиях.
• Совместимость с различными типами эндоффекторов: Может быть оснащен "лопатками" (blades) для переноса пластин разной геометрии и толщины.

Технические характеристики (ТТХ)

Приведенные ниже характеристики являются типовыми и могут варьироваться в зависимости от конкретной конфигурации и года выпуска.

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Тип | Прямоугольный (R-θ) манипулятор для передачи пластин | | Диаметр обрабатываемых пластин | 200 мм и 300 мм (основной стандарт) | | Степень свободы | 2 оси: радиальное перемещение (R) и вращение (θ) | | Рабочая среда | Высокий вакуум (High Vacuum) | | Материалы | Нержавеющая сталь, алюминиевые сплавы, вакуум-совместимые смазки и уплотнения | | Привод | Серводвигатели с энкодерами | | Точность повторного позиционирования (Repeatability) | ±0.1 мм (типичное значение, может быть лучше) | | Скорость вращения | Высокая (точные значения являются proprietary информацией TEL) | | Скорость радиального перемещения | Высокая (точные значения являются proprietary информацией TEL) | | Интерфейс управления | Стандартный цифровой интерфейс (часто через контроллер TEL). Управление по командам (поднять/опустить, выдвинуть/задвинуть, повернуть). | | Система выравнивания (Aligner) | Обычно НЕ встроена. Выравнивание пластин (нотификация и центрирование) осуществляется в отдельном модуле кластера перед передачей роботу. | | Сенсоры | Датчики положения, энкодеры на двигателях. | | Подключение | Вакуумные электрические вводы (Electrical Feedthrough) для питания и сигналов управления. |

Парт-номера (Part Numbers) и связанные компоненты

Важно понимать, что F-AV250-14W — это базовая модель манипулятора. В зависимости от конфигурации, года выпуска и конкретного завода-изготовителя, парт-номера могут различаться. Часто используются номера, указывающие на варианты исполнения.

Основные парт-номера и связанные компоненты:

• F-AV250-14W — базовый номер модели.
• F-AV250-14W-xxxx — где xxxx обозначает специфическую модификацию, тип эндоффектора, длину рычага и т.д. (например, -M1, -M2, -001).
• Эндоффектор (Лопатка / Blade): Имеет отдельные парт-номера. Это расходный элемент. Примеры общих типов:
  • Для 300 мм пластин: F-35000-xxxxx
  • Для 200 мм пластин: F-25000-xxxxx
  • Конкретный номер зависит от материала (керамика, карбид кремния SiC), формы, наличия пазов для подъема и т.д.
• Серводвигатели и редукторы: Имеют свои номера (часто от сторонних производителей, таких как Harmonic Drive, Yaskawa, Mitsubishi).
• Кабельный комплект: F-AV250-14W-CABLE или аналогичный.
• Контроллер робота: Управление обычно осуществляется через отдельный контроллер TEL (например, серии TAC или другой), который имеет свои собственные парт-номера.

Для точного определения запчастей всегда необходим серийный номер (Serial Number) конкретного устройства.

Совместимые модели и системы

Робот F-AV250-14W является стандартным модулем, который интегрировался в множество кластерных систем производства Tokyo Electron (TEL).

Совместимые платформы оборудования TEL (основные):

1. Системы для нанесения покрытий (CVD, PVD/Спаттеринг):

   • TEL Trias™系列 (например, Trias SPA)
   • TEL Vector™系列

2. Системы для сухого травления (Dry Etching):

   • TEL Tactras™系列
   • TEL SCCM (Single Chamber Cleaning Module) и другие модули очистки.

3. Универсальные кластерные платформы:

   • TEL Cellesta™ — модульная кластерная система, в которой часто использовались подобные роботы.
   • Различные специальные обрабатывающие модули (Process Modules) и модули передачи (Transfer Modules), которые являются частью более крупных кластеров.

Важное примечание по совместимости:

• Робот совместим с любым вакуумным модулем передачи (Vacuum Transfer Chamber), имеющим соответствующий фланец и проем для его установки.
• Совместимость определяется не только механическим креплением, но и протоколом управления. Робот должен управляться совместимым контроллером TEL или системой, эмулирующей его команды.
• При замене или модернизации необходимо проверять механические габариты, тип фланца (CF, ISO), расположение крепежных отверстий и электрические разъемы.

Данный робот является устаревшей, но все еще широко распространенной и надежной моделью, встречающейся на многих действующих производственных линиях по всему миру.