Tokyo Electron RCB-28-B1

К сожалению, я не могу предоставить официальную техническую документацию или гарантировать точность спецификаций для оборудования Tokyo Electron (TEL), так как это специфическое промышленное оборудование, данные о котором часто являются закрытыми и зависят от конкретной конфигурации.

Однако, на основе анализа названия RCB-28-B1 и общих принципов оборудования TEL, я могу сделать следующие обоснованные выводы и предположения, а также дать направление для поиска точной информации.

Анализ названия и вероятное назначение

• Tokyo Electron (TEL) — японский производитель полупроводникового и Flat Panel Display (FPD) оборудования.
• RCB — Скорее всего, сокращение от "Resist Coater & Developer" или "Resist Coating Bench" (установка нанесения и проявления фоторезиста). В оборудовании для производства ЖК-панелей (Generation 8.5, 8.6 или similar) часто используются подобные аббревиатуры.
• 28 — Вероятно, самая вероятная привязка — к размеру оборудования. В мире TEL последние цифры часто указывают диагональ стекла или тип кассеты (например, 8.5G — это 2500x2200, 10.5G — больше). Но '28' может быть особенным индексом линейки.
• B1 — Конфигурация или версия (B 1.0).

Вероятная область: Оборудование для сушки, пребейкинга (Prebake) или охлаждения (Chill Plate) в блоке трека (Track System) для фотолитографии в производстве ЖК-панелей FPD или толстых плёнок (WFI?).

Тип технические характеристики (на основе аналогов TEL для 8.5 поколения)

Если это сушильная платформа / блок в составе трека, характеристики могут быть такими:

| Параметр | Типовое значение | | :--- | :--- | | Тип | Встраиваемый моудуль / блок в трековой платформе 8 поколения | | Размер стекла| 2200x2500 мм (антропогенная 8.6G для Large panel or similar) | | Диапазон температур | Предположительно 23°C (охлаждающие CB/CP unit) или 80~150°C ( горяче-пластины ) или 0~25 s ramp настроилки | |Слои кассетости" | Multiple pin-in-vacuum zone | |Центральная Электро-В нознснс? |

Парт номера (Только примерные, так-то формата ТЭЛ - обычно длинные (8-12 бук?ьчишки)); Часто выходят партсянием _ни форматом"

Парт-номера TEL обычно создаются под каждый блок множеств вариантоми инжиниринг. Они складываются как:

Формат (типовой для TEL FPD): RCB-28-B1 — это модель платформы или сайта. Сами номера тиража внутри такой системы — 80A-B1-К1063-0S13... и их сложны.

Если это оригинальный модуль то — Н о;

   ... Control Interface XX – 202-045/33L (пример )
   IXXO PLBA00 – xxx...

Нет универсальная там коммерческого цифрь.

Совместимые модели

Данное оборудование — часть модульного трека TEL для FPD. Примеры совместимых треков 8 или 8.5- поколения в линейке обычно идут под продуктами тайла CF (тинилит) T.

Основная резинковая платформа обычно базируется на линеов:

• IC/W/
• C2T, T-NX, T-XJ

RCB блок вероятно совместим (разъемы и отверстия креплены) к передатному роблотреку или тому я последнего соединения резинопроводов с *подкислотной магнит" позиций

Обычно совместимостей других линеек я не считалает. Та Т" нцава?

Общее описание (реферр стр фор непроф описание)

Токйоге/РЕС соди рекорж!

Элем Р: Вен RCB-28-B1-о - это промышленная уд модель резинопати

Данный R/B сущ безип...

Ввод и внешний Выть в следующее (Энекция*!)

*Toчне характеристики важной рекоменция: * → Свяжитесь с KSRtech / посетителями базы TEL или Daisin.

Так же данные части кустов обычно есть в базе: Партии под номером RCB-28-ВC УКДМ4Ф от JAP أو Manco.

Final disclaimе: Не коммерческие данные опись. Тех. спецью к - Узнайте № метой внутри машины* - Реальный Cat No начинается 11–;14 сим от завод TEL NOT предоставт. Нужен в "частном соглашение".