Agilent Technologies 5067-4117

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Agilent Technologies 5067-4117.

Описание

Agilent 5067-4117 — это модуль источников питания (Source Module) для модульной платформы Agilent B2200A/B2201A (позже переименованной в Keysight B2200A/B2201A). Этот модуль является ключевым компонентом системы для прецизионного анализа полупроводниковых устройств, особенно в задачах измерения Вольт-Амперных характеристик (I-V).

Его основная функция — обеспечение и измерение малых токов и напряжений при тестировании наноразмерных структур, таких как транзисторы, диоды, MEMS и другие устройства с низким энергопотреблением. Модуль интегрируется в основной блок B2200A, который коммутирует сигналы между несколькими модулями и устройством под тестом (DUT) через матрицу коммутации (Switch Matrix).

Ключевое назначение: Подача смещения и измерение параметров в цепях истока (Source) или стока (Drain) полевых транзисторов, а также выполнение высокоточных измерений утечки.

Технические характеристики (основные)

• Тип модуля: Модуль источников/измерителей малых напряжений и токов (Precision SMU / Source Module).
• Количество каналов: 2 независимых канала (каждый может работать как источник напряжения/измеритель тока или источник тока/измеритель напряжения).
• Диапазон напряжений (Source): ±100 В.
• Диапазон токов (Source): ±100 мА.
• Разрешение по напряжению: Высокое (порядка микровольт в диапазоне малых напряжений).
• Разрешение по току: Критически важный параметр. Обеспечивает измерение сверхмалых токов с разрешением до 10 фА (фемтоампер) или даже лучше в определенных диапазонах. Это основное преимущество для измерения токов утечки.
• Измерительные возможности: Одновременное измерение напряжения и тока на выходных клеммах с высокой точностью.
• Четырехпроводное (Kelvin) подключение: Поддерживается для компенсации сопротивления соединительных проводов и обеспечения точного напряжения на выводах тестируемого устройства.
• Интеграция: Работает исключительно под управлением основного блока B2200A/B2201A и специализированного ПО (Agilent/Keysight EasyEXPERT group).

Парт-номера и связанные продукты

• Основной парт-номер: 5067-4117 (базовая комплектация модуля).
• Ключевая система, в которую устанавливается: B2200A (для полупроводниковых измерений) или B2201A (версия с расширенными возможностями для нанотехнологий).
  • Полное обозначение системы: Agilent/Keysight B2200A Precision Semiconductor Analyzer.
• Совместимый основной блок (Mainframe): Только Agilent B2200A или Agilent B2201A. Не совместим с другими сериями (B1500A, B2900 и т.д.).
• Совместимое программное обеспечение: Agilent/Keysight EasyEXPERT (основное ПО для конфигурации и измерений).
• Другие модули в той же системе:
  • 5067-4118: Модуль источников/измерителей с двумя каналами, оптимизированный для подачи смещения на затвор (Gate) с еще более высоким разрешением по току.
  • 5067-4119: Модуль емкостных измерений (C-V).
  • 5067-4115: Модуль быстрых импульсных источников напряжения/тока.
  • 5067-4116: Модуль универсальных источников/измерителей (более широкие диапазоны).

Совместимые модели и аналоги

Важно понимать, что 5067-4117 — это специализированный модуль для конкретной платформы. Прямых "аналогов" в виде отдельных приборов с такой же интеграцией нет, но есть системы и приборы схожего класса:

1. В рамках семейства Agilent/Keysight:

   • Keysight B2912A/B2911A (2-канальные прецизионные ИВХ-анализаторы) — это самостоятельные (не модульные) SMU-приборы, которые могут выполнять многие задачи модуля 5067-4117, но не интегрируются в матрицу B2200A.
   • Модули для платформы Keysight B1500A (например, B1511B, B1517A) — также являются SMU-модулями, но для другой, более старшей и мощной платформы для анализа полупроводников. Не являются взаимозаменяемыми.

2. Продукция других производителей (конкурирующие решения):

   • Keithley 4200A-SCS с модулями 4200-SMU или 4210-SMU. Это основной конкурент системы Agilent B2200A. Модули SMU в этой системе выполняют аналогичные функции.
   • Tektronix/Keithley 2600B Series SourceMeter® — самостоятельные SMU-приборы, часто используемые для I-V характеристик, но с менее высокой интеграцией в автоматизированные системы для наноанализа, чем B2200A.

Краткий итог

Agilent 5067-4117 — это высокоточный двухканальный модуль источников и измерителей для системы B2200A Precision Semiconductor Analyzer. Его главные преимущества — возможность измерения фемтоамперных токов и полная интеграция в автоматизированную систему тестирования полупроводниковых устройств через матрицу коммутации. Он предназначен для инженеров и ученых, работающих в области разработки и характеризации передовых полупроводниковых технологий, наноэлектроники и микросистем.