Bronkhorst F-101D-RA-33-V

Отличный выбор! Bronkhorst F-101D — это высокоточный цифровой расходомер/контроллер массового расхода (Mass Flow Meter/Controller, MFM/MFC) для газов, известный своей надежностью и гибкостью. Модель F-101D-RA-33-V имеет конкретную конфигурацию.

Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости.

Описание Bronkhorst F-101D-RA-33-V

F-101D-RA-33-V — это контроллер массового расхода (MFC) для газов. Расшифровка индекса:

• F-101D: Базовая модель цифрового MFC серии F-100D.
• RA: Тип присоединения — резьбовое соединение (R) с уплотнительным кольцом (A) по ISO 1179-1 (обычно под уплотнительное кольцо BSPP или метрическое). Это популярный промышленный стандарт.
• 33: Номинальный (максимальный) расход. 33 соответствует 10 л/мин (N₂). Это ключевой параметр.
• V: Тип выходного сигнала управления — аналоговый сигнал 0-10 В (V). Устройство получает задание (setpoint) по этому аналоговому входу.

Принцип действия: Основан на технологии измерения перепада температур (теплового рассеяния). Встроенный цифровой ПИД-регулятор сравнивает заданный расход (сигнал 0-10В) с измеренным и управляет встроенным пропорциональным клапаном для точного поддержания потока.

Основное назначение: Точное дозирование и контроль расхода различных газов в технологических процессах, таких как:

• Полупроводниковая промышленность (CVD, PECVD, травление)
• Солнечная энергетика
• Аналитическое и лабораторное оборудование
• Паковка и модификация атмосферы
• Промышленные горелки и печи
• Пищевая промышленность (CO₂, N₂)

Технические характеристики (для конфигурации -RA-33-V)

1. Общие параметры:

• Тип устройства: Цифровой контроллер массового расхода (MFC).
• Управление: Аналоговое (0-10 В постоянного тока на входе SETPOINT).
• Измерение: Прямое измерение массового расхода, не зависящее от температуры и давления.
• Повторяемость: Высокая, обычно лучше ±0,2% от показаний.
• Время отклика (T90): < 2 секунд до 90% от заданного значения (типовое, зависит от газа и условий).

2. Параметры расхода:

• Номинальный (макс.) расход (для N₂): 10 литров в минуту (л/мин) при стандартных условиях (0°C, 1,013 бар).
• Минимальный управляемый расход (для N₂): Обычно 1-2% от макс., т.е. ~0,1-0,2 л/мин.
• Калибровочный газ: По умолчанию — Азот (N₂). Может быть откалиброван на любой другой газ или газовую смесь.
• Пересчет на другие газы: Осуществляется через коэффициент пересчета (Gas Conversion Factor, GCF) в электронике прибора. Для корректной работы необходимо установить правильный GCF.

3. Механические/Гидравлические параметры:

• Присоединение: RA — Резьбовое с уплотнительным кольцом. Конкретный размер (например, M8x1, 1/4", 1/8") необходимо уточнять в паспорте на конкретный серийный номер. Часто это 1/4" или 1/8" BSPP/M.
• Материалы, контактирующие с газом: Нержавеющая сталь (AISI 316L), Viton (уплотнения), никель (сенсор).
• Рабочее давление:
  • Максимальное давление на входе: 100 бар (изб.)
  • Максимальное перепад давления на клапане: 10 бар
• Рабочая температура окружающей среды: от 0 до 50 °C.
• Температура газа: от 0 до 50 °C.

4. Электрические параметры:

• Питание: 15...24 В постоянного тока (стандартно 24 В пост. тока).
• Входной сигнал (задание, SETPOINT): 0-10 В постоянного тока. 0 В = нулевой расход, 10 В = номинальный расход (10 л/мин для N₂).
• Выходной сигнал (измерение, STATUS): 0-10 В постоянного тока. 0 В = нулевой расход, 10 В = номинальный расход. Примечание: Выходной сигнал также может быть переконфигурирован на 4-20 мА.
• Интерфейс связи (опционально): Может быть оснащен полевыми шинами (PROFIBUS DP, DeviceNet, Modbus RS-232/485, FLOW-BUS) в качестве дополнительной опции, но в конфигурации "V" основное управление — аналоговое.

5. Точность:

• Типовая точность: ±0,5% от показаний (FS) + ±0,1% от полной шкалы (FS) для азота. Точность зависит от калибровочного газа и условий.

Парт-номера (Part Numbers) и совместимые модели

Важно: Полный парт-номер формируется из кода конфигурации. F-101D-RA-33-V — это уже готовый код. Однако, для заказа часто требуется указать дополнительные опции.

Пример полного заказного кода (может варьироваться): F-101D-RA-33-V-55B-00/0-000-000 Где:

• 55B: Опция питания 15-24 В DC.
• 00/0: Стандартные заводские настройки.
• 000-000: Коды дополнительных опций (например, интерфейс, сертификаты).

Совместимые и аналогичные модели Bronkhorst:

1. Внутри серии F-100D (аналоги с другими параметрами):

   • F-106D / F-116D: Для более высоких расходов (до 2000 л/мин).
   • F-103D: Для более низких расходов (до 5 л/мин).
   • F-101D-RA-XX-V: Та же модель, но с другим номинальным расходом (вместо 33 будет другой код, например, 11=0,5 л/мин, 22=5 л/мин, 44=20 л/мин и т.д.).
   • F-101D-AA-33-V: Аналогичная модель, но с присоединениями VCR (AA) для высоковакуумных применений.
   • F-101D-HB-33-V: С присоединениями Hygienic (Tri-clamp) для пищевой/фармацевтической промышленности.
   • F-101D-RA-33-I: Аналогичный контроллер, но с управлением по току 4-20 мА (I) вместо напряжения 0-10 В.

2. Совместимые аксессуары и компоненты:

   • Электронные блоки питания/индикации (Read-outs): Серии EL-FLOW Select, ES-FLOW. Эти блоки могут питать MFC, отображать расход и задавать значение через интерфейс или потенциометр.
   • Источники питания: Стабилизированный источник 24 В DC.
   • Аналоговые задатчики: Потенциометры или источники сигнала 0-10 В.
   • Кабели: Стандартные кабели с разъемами D-sub 9-pin (обычно male на стороне прибора).
   • Калибровочные газы и смеси: Для поверки.

3. Аналоги от других производителей (функциональная совместимость):

   • Alicat Scientific: Серии MC, MCR (с аналоговым управлением).
   • MKS Instruments: Серия G-Series (например, 1179A).
   • Brooks Instrument: Серия SLA/SLA5800 (с аналоговым входом).
   • Sierra Instruments: Серия SmartTrak.
   • Vögtlin: Серия RED-Y.

Критически важное замечание: При замене на модель другого производителя необходимо проверить:

• Соответствие диапазона расхода, точности и времени отклика.
• Тип и логику сигналов управления (0-10В, 4-20мА, активный/пассивный).
• Механические присоединения.
• Коэффициенты пересчета для рабочего газа.

Для получения точных данных по конкретному прибору (размер резьбы, сертификат калибровки, полный парт-номер) всегда рекомендуется использовать серийный номер устройства и обращаться к официальному паспорту (Datasheet) или напрямую к производителю (Bronkhorst) или его дистрибьютору.